主动化转移晶片:KUKA 晶片转移解决方案
KUKA 研制的 KUKA 晶片转移解决方案是世界上***可用于主动运送和转移半导体盒的一站式解决方案。该使用由一台标准化的主动导引运送车 (AGV) 和通过实践检验的 LBR iiwa 轻型机器人组成。为此开发了一套精细的抓手体系。软件也由 KUKA 供给。
KMR 200 CR 移动平台保证移动性。该平台的麦克纳姆轮可朝各个方向全向行驶。平台上的传感器实时监测周围环境,以免产生磕碰。具有人机协作能力的 LBR iiwa 安装在平台上。机器人的高灵敏度有助于安全无振动地转移敏感的晶片盒。该使用的第三个部件是量身定制的抓手。抓手体系为 KUKA ***。
在用于晶片转移的净室使用中,硬件和软件均来自 KUKA。晶片转移软件解决方案可无缝整合到半导体制造商的制造执行体系中。集成在软件中的车队管理器负责管控运送使命,以此保证理想的半导体主动化出产。一切解决方案均由 KUKA 供给并通过认证。由此能够大幅缩短调试时间,从而使该体系成为市场上***为灵敏的转移体系之一。